第二百九十九章 摩尔定律你听说过没有(3/4)

光刻的原理,与冲洗照片是一样的。首先,要把电路图制作成底片,称为掩膜。光源通过掩膜照射在涂了光刻胶的芯片基材上。

光刻胶由树脂、感光剂、溶剂和添加剂组成,其中的感光剂在光线照射下会发生反应,使曝光区的光刻胶溶解,这就相当于把掩膜上的电路图案复制到了芯片基材上。

随后,再进行蚀刻、离子注入、封装等操作,一枚芯片就制作完成了。

光刻胶中感光剂的选择,与光源是密切相关的,这涉及到化合物在不同波长光线作用下的变化,机理十分复杂。

徐云是知道这些概念的。他原本就是物理系的学生,枫林研究所聘请他的老师前来参与这个项目,就是因为其中涉及到一些光学方面的问题。他在项目组里耳濡目染了这么久,对于这些问题自然是非常了解的。

听到高凡的问题,徐云也只能把心里那些杂念抛开,认真地答道:“我们现在研究的重点,就是g线光刻胶,这也是目前应用最广泛的。

“i线光刻胶这方面,毕主任在实验室会议上提过几次,让大家有时间做一些积累,不过目前条件还不成熟。再至于说krf光刻胶,好像国外也刚刚开始研究吧?”

“你说i线光刻胶的条件不成熟,是指什么?”高凡问道。

徐云道:“不是我说的,而是毕主任说的。现在国内根本就没有使用i线光源的光刻机,国外也不多,研究i线光刻胶,是不是有些操之过急了?”

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